采访对象：离子注入技术专家 老温州大学前校长高级工程师(以下简称曾)
专栏主持：金辉 记者(以下简称金)
曾宪楠，1938年1月17日出生于温州一个职员家庭。1951年毕业于温州第一小学(今广场路小学)，同年考入温州市立中学初中部(今温州二中)，1956年从温州二中高中毕业，考入山东大学物理系，1960年毕业留校任教。1977年12月，为照顾夫妻分居两地调到温州仪器仪表厂工作。在温州，他参与发起“电子工程会战”，曾任离子注入技术研究所所长。1991年调任新建的温州大学主持行政工作副校长，1994年年底任温州大学校长，直至1999年9月退休。
从山东大学毕业后，曾宪楠从事低能核物理的教学与科研工作，曾任山东大学核物理实验室主任。上世纪七十年代初期，由于集成电路技术的发展，他从加速器转向离子注入设备及在集成电路中应用研究，与其它同志一起先后研制成功并用于集成电路批量生产的低能和中能离子注入机，为我国集成电路初期生产作出了贡献，1977年获得上海市重大科技成果奖、1978年获全国科学大会奖和多项浙江省科技成果奖。上世纪八十年代中后期又转向离子束材料改性和离子镀膜研究，先后完成了国家“六五”技术攻关项目“金属离子注入设备和工艺研究”和温州市重点科技项目“离子镀膜设备”研究，获得国家计委、国家经委、国家科委、财政部联合嘉奖和温州市科研一等奖。1987年聘为高级工程师。
在此之前，我们对曾宪楠的情况了解甚少，仅知道他担任过老温州大学的校长，至于是什么学科的专家一概不清楚。而有关温州离子注入机的生产，倒是早有所闻，那是“文革”后期，流行抽调各方技术力量集中突击一个项目进行打歼灭战，号称“大会战”。温州也曾经组织过电子工程“大会战”，轰动全省，全国也有影响，只不过没有与曾宪楠联系起来。多少年过去了，曾宪楠也早已退休在家，以前的轰轰烈烈都成了如烟的往事。
我们采访曾宪楠的计划是在与山东大学教授、中科院院士王克明的访谈中形成的。
在谈到王克明的学术成果时，他说，离子束技术能改变固体表面和近表面的特性，是二十世纪科学史上的重大发现，已在材料科学和信息科学的应用研究中发挥了重要作用。而离子束是由加速器或离子注入机产生的，可以说，当今如果没有离子注入机就没有超大规模的集成电路。我的山东大学教研室同事、老温州大学前校长曾宪楠和我都参加过离子注入机的研制工作。曾宪楠还是中国第一台生产用60KEV离子注入机项目的总体物理和光路的主要设计者，他为发展国产集成电路作出了重要贡献。
1月17日是曾宪楠七十周岁生日。俗话说，人生七十古来稀。尽管曾宪楠也是满头白发，脸上的皱纹，记录着人生的风霜雨雪，可是他的身体仍还硬朗，说话快言快语，声音洪亮，思维清晰，记忆如旧，是位十分可爱的老人。这次采访是聆听一位老人的诉说，犹如打开历史记忆的尘封。
研究离子注入技术
金：我是从王克明先生口中得知您也是研究离子注入技术的，听说王先生与您通话时，您向他介绍过我们的专栏，真要谢谢您。《温州学人访谈录》专栏得到许多读者的热情支持，我们感到很荣幸，也很感激。访谈王克明的稿子已经见报，不知有否看到，请指正。
曾：那篇稿子我看到了，而且认真地读了，倒是实事求是的，王克明当选中科院院士是实至名归。我作为他当年同教研室的同事，又是老乡，读后倍感亲切，同时也感触良多。
山东大学核物理专业是由我国早期核物理学科奠基人之一、从美国归来的王普先生创办的。我大学毕业后留校任教，在核物理实验室从事低能核物理的教学和研究。迟我一年毕业的王克明与我同一专业，又分配在同一个教研室工作。他研究的是国家重点项目——高能核物理。我偏重于实验核物理教学和应用研究。也许是“歪打正着”，我可以接触到核辐射、同位素、核电子、高真空、离子光学等实用性较强的技术，为我后来参加转向离子注入机研究打下了基础。山东大学是出人才出成果的地方，是我留恋的母校。
金：以时间推算，当你们开始研究离子注入机时已经是“文革”了，全国所有学校也该是“停课闹革命”，可你们还在研究，这里面有什么背景吗？
曾：是这样的。上世纪60年代后期，国际上集成电路技术迅速发展，而“文革”中的山东大学实验室许多设备闲置着，当我们了解到国外在半导体和集成电路中，用加速器产生的离子束，可代替热扩散进行掺杂，成为当时新的尖端学科。山大实验室现成的加速器体积大，成本高，还只能用于实验，不能在生产线使用。于是，我们便动手将加速器改造成离子注入机。虽然起步时还仅是35KEV，但意义重大。
1972年，国内著名的半导体工厂——上海元件五厂主动与我们取得联系，要求厂校协作研制离子注入机。于是学校委派我来到了上海，参加了这一技术协作。在上海，我们在研制中碰到了许多新的技术性问题，我们夜以继日地投入研究，对生产工艺进行了改进，取得了新的突破。1973年完成了国内首台用于集成电路批量生产的60KEV离子注入机，打破了当时国外的禁运。1977年这个项目获得了上海市重大科技成果奖，1978年获得全国科学大会奖。在上海四年间，我们先后开发了几十个规格数百万块的集成电路。
金：以此看来，您在上海的科研工作做得十分出色，可您怎么又回到温州了，其中有什么难言之隐吗？
曾：不瞒你说，就是为了夫妻团聚啊。当时我们夫妻两地分居已经10年，两个孩子还很小，事业与家庭生活矛盾十分突出。那个时代是不强调家庭生活的，要想调回温州真是难于上青天，现在想来有点不人道。为此，我无偿在温州仪表仪器厂工作了一年，为厂里开发新产品，这才感动了“上帝”，如愿回到家乡。我还错过了十八年来唯一一次的工资调整的机会，说起来还真是有点心酸。
金：您的这一席话，使我想起了我们采访过的中国科学院院士李启虎，他当年在北京中国声学研究所工作时，也因夫妻分居两地，千方百计通过关系调回温州，最后还是没有成功。我说过这样一句话，如果他调动成功，温州也许多了个优秀物理教师，而中国少了一个中科院院士。您是调动成功的，对温州应该是件好事。那么您在温州还是继续做您的离子注入机技术的研究吗？
曾：那也不一定，如果调动不成功，事业如何发展也很难说，说不定还不如现在，很多事情是要有机遇的。回到温州夫妻团聚了，我也很想继续做点事情。当时全国科学大会刚刚开过，对科研开始重视了，环境也变得宽松起来，有点科学春天的气息。当时上海元件五厂仍要与我继续合作，研制200KEV中能离子注入机。一天，我遇到了颜贻明(时任温州晶体管厂技术员)和曾春霖(时任温州无线电三厂技术员)，说起来我们都有搞些科研的想法，于是形成了从离子注入机入手，发展温州集成电路和电子计算机生产，并发起温州电子工程的“大会战”设想。这个设想得到了上级的大力支持。通过“大会战”，温州先后生产了三台200KEV离子注入机及六台70KEV离子注入机，提供给上海、大连、合肥等地集成电路生产厂使用。接着，在此基础上，成立了温州离子注入技术研究所，进一步对离子注入机进行研究开发。
那是当年“大会战”成果
金：离子注入机属高科技产品。当时温州就能开发出这样高科技产品，是很不容易的。我好像曾听说过此事。那时温州的信息传播渠道不畅，但我仍有点印象，可见当年的影响力，只是不知道您的名字。您这是为温州赢得了荣誉啊。
曾：那也不是我个人的功劳，是大家的努力。当时省里很肯定温州生产的离子注入机，省科委还拨款支持我们开发。不仅如此，我们还曾在江心屿的工人疗养院对四位微机进行技术解剖，分析内部电路，明确为EDMOS集成电路，并将此交给上海无线14厂生产。这可能是第一批国产微机。这项工作主要是由曾春霖负责的。
金：不论是在山东、上海还是温州，您对离子注入技术注入了全部的心血。正如《论语》中所说：“知之者不如好之者，好之者不如乐之者。”这是您的喜爱之所在，那么您是否从小就喜欢理科的？
曾：我从小就喜欢读书，父亲是位职员，父母总希望自己的子女能上大学，对我们的读书很关心。我们曾家是老温州，200年前松台山麓的曾宅花园就是我们前辈的私家花园，也出了不少人才。我是新中国成立后“一小”(今广场路小学)的第一届毕业生，学习成绩不错，排名全校第二，学校常给我减免学费。
我对物理的喜欢是受高中物理老师陈立明的影响，高一时，我们第一次考物理，许多同学都说物理十分难，我却考了个100分，陈老师很喜欢我，从此我也就喜欢物理了。不过，平时我也喜欢阅读文艺作品，如《牛虻》、《青年近卫军》、《卓娅与舒拉的故事》等小说，对我影响很大，同时也培养了阅读习惯。你看我现在手头读的就是是《束星北档案》。
当年我的高考成绩不很理想，没有被更好的学校录取。不过，那时报考大学不是很看重学校而是看重专业的，与现在报考大学不一样，很看重学校，所以心理上也没有很大的压力。
金：那您是曾宅花园的后人了。曾宅花园，又名怡园，是温州著名私家花园之一，是温州著名画家项维仁所营造。原址在现在信河街松台大厦一带。怡园为清道光年间温州名士曾佩云、曾裔云兄弟所建，就是你们曾家的前辈吧。园中建有“西爽楼”，登楼四望，城郊各山，尽收眼底。还有“风到月来亭”寓有“月到天心，风来水面”的情趣。可见当年曾家的家业是很大的，是名门望族。
您作为名门之后，不仅从事离子注入技术的研究，还是温州大学校长，为温州大学的早期创办花费了不少心血。您是搞技术的怎么会把您请去当校长的，您真是位“敢吃螃蟹的人”！
喜看今日温大新气象
曾：那是组织决定的，我也是没有办法啊。说句实在话，当时离子注入机研究和生产在新形势下遇到了新问题：既要搞科研又要解决科研人员的吃饭问题。我想把离子研究所带到学校去，在解决研究所的吃饭问题的同时，也可为大学提供一个尖端学科研究项目。但到了温州大学后，才发现学校连正式教学主楼、标准体育场都没有，办学条件十分困难。你说作为主持学校工作的领导总不能只顾自己去搞科研吧，只得全身心地投入学校的求生存、谋发展的工作之中，从此也结束了我的科研生涯，走上了行政管理工作岗位。
令人欢喜的是，由于大家的共同努力，温大总算走过来了。你看今天合并后的新温州大学校园扩大，招生扩大，师资力量扩大，呈现一派勃勃生机。我作为温州大学发展的见证人，打心眼里高兴。
金：一个学校的发展是有个过程的，需要几代人的前仆后继，甚至付出巨大的代价。今天我们看到温州大学的喜人景象，确实也是这样。
今天听您说了那么多，我发现您最感兴趣和最有成就感的是您从事的离子注入技术的研究，是不是这样？
曾：你说的没错，是这样的。在我看来，一个人一生只要做成一件事也就足矣。这话好像是别人说过的，对此我确有同感。一个人一辈子能做成一件事也很不容易的。
来源：2008年4月10《温州都市报》 摄影：陈莉莉
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